Film & Printing
Digital Room Ionization System 5515
5515
반도체 FAB
FPD
부가설명
- 반도체 관련 공정에서 Room 전체의 정전기 제어를 완벽한 Digital Technology로 관리가 가능한 제품 입니다.
- Single crystal silicon Emitter를 사용 합니다.
- Feedback system이 갖춰져 있어 제품의 이상 유무를 실시간으로 점검 가능합니다.
- 각각의 Ceiling emitter에 알람민감도, 이온출력, 이온펄스시간, 이온출력 주파수의 조절이 가능합니다.
- Ion Manager Software로 모든 Ceiling emitter의 Monitoring이 가능합니다.
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입력 전압 |
100 ~ 230 VAC, 50 ~ 60Hz (Controller 5582 & 5522) |
출력 방식 |
Pulsed DC, steady-state DC, or standby |
Balance |
0 - 20 kVDC, ±Output levels adjusted separately |
사이즈 |
31H X 36W X 445L mm |
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